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立式管式炉

发布时间:2019-01-23  浏览次数:63

  

 

设备名称:立式气氛管式炉

 

设备用途:该设备主要用于晶圆材料镀膜、退火等领域;


二、主要结构、功能

  管式炉主要由不锈钢水冷密封法兰、加热炉温区、物料托架、手动升降装置、以及电控部分组成。

 

1. 物料放置  

4 支不锈钢管支撑物料,通过搅动手动升降手柄,将物料升至炉膛内部,再通过卡箍将托架与下部法兰进行密封;底部法兰装置石英进气导管,可将气体直接通入物料下方;

 

2.加热温区

  

  加热温区总成 195mm,恒温区长度约 100mm,炉膛材料采用高纯聚晶氧化铝纤维制成,保温性能好。功率 2KW 220V

 

技术参数如下:


序号

 

报价设备技术指标

1

炉体尺寸

500*1360*760mm(以实际为准)

2

炉管尺寸

Φ120mm*500mm(内径114mm

3

工作温度

≤1150℃

4

温区长度

200mm(恒温区100mm)

5

升温速率

建议10/min

6

加热元件

掺钼的铁铬铝合金加热丝

7

炉膛材料

轻质氧化铝纤维保温耐火材料

8

控温精度

±1℃

9

极限温度

1200℃

10

加热温区

单温区

11

操控模式

7"真彩触摸屏操控,智能模糊 PID 控制

12

温度曲线设置

可预存15条温度曲线,每条曲线可设置30"

时间—温度曲线";

13

温度曲线记录

实时监控,动态真实显示时间-温度曲线

14

测温元件

K 型热电偶

15

保护设置

超温报警,过流保护,断偶提示

16

电气认证

CE 认证

17

电气规格

220V  50Hz   2KW

18

放料装置

手动升降托架

19

随机产品配置

炉管1;不锈钢水冷法兰1;密封圈1套;随机

工具;说明书1份等。

20

服务项目

免:运输费,保险费,包装费;

提供 12 个月质保,终身保修

 



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